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潔凈室如何升級改造?
發(fā)布者:翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù):發(fā)布時間:2023-02-24
潔凈室升級改造的設計方案制定,雖然原則應該說基本相同的,但是由于空氣潔凈度等級的提升.尤其是由非單向流潔凈室升級為單向流潔凈室或由 1S06級/1S05級潔凈室升級改造為 1S0 5級/Is04級/1s03級潔凈室時.無論是凈化空調系統(tǒng)的循環(huán)風量、潔凈室的平面和空間布置還是相關的潔凈技木措施等都有較大或很大的變化,因此潔凈室的升級改造除了前面己敘述的設計原則外還要考慮下述因素


①對潔凈室的升級改造,首先應該結合具體工程實際情況制定的一個可能實現(xiàn)的改造方案

根據(jù)升級改造的目標及相關技術要求和原有建設的現(xiàn)狀等,進行認真、翔實的多設計方緊的技術經(jīng)濟比較。這里應該特別指出的是此項比較不僅是改造的可能性和經(jīng)濟性,還應包括升級改置后運行費用的比較,尤其應注意能源消托費用的比較。為完成此項任務,業(yè)主應委托有實踐經(jīng)驗、有相應資質的設計單位進行調查、咨詢、規(guī)劃工作。



②潔凈室的升級改造宜優(yōu)先選用各種隔離技術、微環(huán)境技術或局部潔凈裝置或層流罩等技術手段,對需要高級別空氣潔凈度等級的生產工序、設備采用微環(huán)境裝置等技術手段同較低級別空氣潔凈度等級的潔凈室分隔或將整體潔凈室提高至可行的空氣潔凈度等級,而對要求很高級別空氣潔凈度等級的生產工序、設備采用微環(huán)境裝置等技術手段。


舉例ISO5潔凈室全面改道為 ISO4級和采用徽環(huán)境系統(tǒng)設計方案的技術經(jīng)濟比較后,采用了微環(huán)境系統(tǒng)的升級改造方案,以較小的升級改造費用達到了所需的空氣潔凈度等級要求,且能源消耗世較低:運行后經(jīng)檢測每一徽環(huán)境裝置均達到了ISO4 級以上的綜合性能。據(jù)了解,近年來許多超大規(guī)模集成電路工廠在進行吉凈室升級改造或新建廠房時,都將生產廠房按1S05級/IS06級單向流潔凈室進行設計建造及披生產線各工序、設備的高級別潔凈度要求采用 SMIF 微環(huán)境系統(tǒng),達到了產品生產所秀的空氣潔凈度等級,既城少了投資費用、降低了能源消耗,還有利于生產線的改造、擴產要求,具有較好的靈活性。


③潔凈室升級改造時常常要增大凈化空調系統(tǒng)的儲環(huán)風量,即增大潔凈室內的換氣次數(shù)或平均風速,由此必然需要調整或更換凈化空調裝置、增加高效風口的數(shù)量、增大風管尺才以及增大供冷(熱)能力等。在實際工作中,為了降低潔凈室開級改造的投資費用.做到調整變動較小,解決的辦法只能是充分了解產品生產工藝情況和原有凈化空調系統(tǒng)的情況,合理劃分凈化空調系統(tǒng),盡可能利用原有的系統(tǒng)及其風管,適當增設必要的、改造工作量較少的凈化空調系統(tǒng)。

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